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化学气相沉积复合超硬涂层技术

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化学气相沉积复合超硬涂层技术

发布日期:2018-02-02 00:00 来源:http://www.shanghaihuizhong.com 点击:

真空炭化炉1.jpg

 采用HT-CVD、MT-CVD、PCVD技术除了沉积单层TiN等涂层以外,很早就用于沉积复合涂层了。沉积包含TiC、TiCN、TiN的七层涂层和包含TiC、TiCN、TiN和Al2O3多层复合涂层,硬度比单层TiN的硬度高得多。近期采用PCVD沉积TiN-TiAIN和纳米级nc-TN/α-Si3N4多层超硬涂层,硬度高达5000~6350HV,摩擦系数低,只有0.07,耐腐蚀性强,涂层和基体的结合高达115N,是提高工模具使用寿命很有发展前途的新型复合超硬涂层材料。


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