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向真空炉内通入含有碳、氮原子的介质，可实现真空碳氮共渗。共渗方式可为一段式、脉冲式、摆动式；除介质不同外，工艺过程近似真空渗碳（参考：一段式真空渗碳、脉冲式真空渗碳、摆动式真空渗碳）。
共渗温度780~1040℃.为了减小工件变形及实现共渗后直接淬火，
常使用的中温共渗温度为780~860℃.
共渗介质可采用氨和丙烷或氨和甲烷的混合气。气体的比例：当使用甲烷与氨作为共渗介质时，其比为甲烷：氨=1：1；而丙烷：氨则为0.25~0.5：1；气体介质的压力为（13~33）×103Pa。
由于真空的净化作用，活化了工件表面；与常规气体碳氮共渗相比较，真空碳氮共渗的渗速快，共渗层的质量优良。
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