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是在气体介质中进行的低温碳氮共渗工艺.虽然低温液体碳氮共渗所用原料便宜，一般也无需吹入空气，故应用较为普遍；但是，由于反应产物中仍有少量的氰盐，工件处理后的清理及废盐处理仍较麻烦，所以有逐步让位于低温气体碳氮共渗的趋势。
低温气体碳氮共渗大都采用570℃，与铁-氮-碳三元素共析点（565℃、ω（C）0.35%和ω（N）1.80%）十分接近，以得到α相对氮的较大固熔能力。共渗时间一般为0.5~5h。
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